晶圓紫外線照射機_半導體產業相關_蘇州永乐平台科精密工業有限公司

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產品名稱：晶圓紫外線照射機

發佈日期： 2015-12-23

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產品詳情

■ 用途：晶圓粘付藍膜後進行UV照射以減弱其粘性便於後續的拾取封裝工序。

■ 尺寸：L1500*W1500*H1200mm

■ 性能：Magazine式的晶圓投入取出機構，內部三軸機械手抓取晶圓後投入至紫外線中照射。

■ 紫外波長：365nm